CONDITIONING AND SIGNAL AMPLIFICATION STAGES FOR A SMART GAS MICROSENSOR MEMS

J. L. González Vidal, M. A. Reyes Barranca, E. N. Vázquez Acosta

Resumen


En este trabajo, el objetivo principal es el diseño de una etapa nueva de amplificación y acondicionamiento de señal utilizando opamps, la cual será utilizada con un microsensor de gas inteligente. Las dimensiones del diseño fueron calculadas en base al modelo de pequeña señal de los MOSFET. Las configuraciones del opamp se eligieron de acuerdo a los requerimientos del sensor. El sensor está hecho de una película delgada de ZnO, depositada sobre la capa superior de una microplaca caliente sobre un microfoso micromaquinado. Gracias a la integración de las etapas de acondicionamiento de señal dentro del diseño, se dice que es un sensor inteligente. Se respaldó la operación de la etapa de amplificación y de acondicionamiento de señal por medio de técnicas de análisis de estabilidad, tales como el método del lugar geométrico de raíces. Se realizaron simulaciones y graficaron diagramas de Bode del sistema.


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